一、雙溫區(qū)管式爐加熱管老化問(wèn)題
 

　　現(xiàn)象：加熱管斷裂、電阻值異常升高或溫度波動(dòng)超過(guò)±5℃。
 

　　原因：
 

　　長(zhǎng)時(shí)間高溫運(yùn)行(如>1200℃)導(dǎo)致材料疲勞；
 

　　頻繁啟停加速熱脹冷縮循環(huán)；
 

　　爐內(nèi)氣氛腐蝕(如含硫、氯氣體)。
 

　　解決方案：
 

　　定期更換：每2000小時(shí)或每年檢查加熱管狀態(tài)，發(fā)現(xiàn)電阻值偏差>10%時(shí)立即更換；
 

　　優(yōu)化工藝：設(shè)置升溫/降溫速率≤5℃/min，避免急冷急熱；
 

　　氣氛控制：使用惰性氣體(如N?、Ar)保護(hù)，避免腐蝕性氣體接觸加熱管。
 

　　案例：某實(shí)驗(yàn)室因未控制氫氣流量，導(dǎo)致加熱管在1000℃下被還原性氣氛腐蝕，更換后通過(guò)流量計(jì)校準(zhǔn)解決問(wèn)題。
 

　　二、溫區(qū)漂移問(wèn)題
 

　　現(xiàn)象：兩溫區(qū)溫差>±20℃，或設(shè)定溫度與實(shí)際值偏差>±3℃。
 

　　原因：
 

　　熱電偶松動(dòng)或老化；
 

　　PID參數(shù)未校準(zhǔn)；
 

　　爐體密封性下降導(dǎo)致熱量散失。
 

　　解決方案：
 

　　熱電偶校準(zhǔn)：每季度檢查熱電偶連接緊固性，誤差>5℃時(shí)用標(biāo)準(zhǔn)溫度源校準(zhǔn)；
 

　　PID參數(shù)優(yōu)化：通過(guò)自整定功能(AT)重新設(shè)定P、I、D值，或手動(dòng)調(diào)整(如P=10%、I=200s、D=50s)；
 

　　密封性維護(hù)：更換耐溫硅膠圈(如氟橡膠圈)，重新安裝法蘭盤并涂抹高溫密封膠。
 

　　數(shù)據(jù)支撐：某企業(yè)通過(guò)調(diào)整PID參數(shù)，將溫區(qū)漂移從±15℃降低至±2℃。
 

　　三、真空度下降問(wèn)題
 

　　現(xiàn)象：真空泵運(yùn)行正常，但爐內(nèi)壓力>10?² Pa(要求≤10?³ Pa)。
 

　　原因：
 

　　真空系統(tǒng)泄漏；
 

　　爐管或法蘭盤老化；
 

　　真空泵油污染。
 

　　解決方案：
 

　　泄漏檢測(cè)：使用氦質(zhì)譜檢漏儀定位漏點(diǎn)，重點(diǎn)檢查爐管接口、觀察窗密封圈；
 

　　部件更換：對(duì)裂紋爐管或變形法蘭盤進(jìn)行更換(如石英管更換周期為3年)；
 

　　真空泵維護(hù)：每500小時(shí)更換真空泵油，并清洗油路過(guò)濾器。
 

　　案例：某高校因未及時(shí)更換真空泵油，導(dǎo)致真空度下降至10?¹ Pa，更換后恢復(fù)至10?³ Pa。
 

　　四、超溫報(bào)警異常問(wèn)題
 

　　現(xiàn)象：未達(dá)設(shè)定溫度即觸發(fā)報(bào)警，或超溫后未自動(dòng)停機(jī)。
 

　　原因：
 

　　控溫儀故障；
 

　　繼電器粘連；
 

　　安全溫度設(shè)定值錯(cuò)誤。
 

　　解決方案：
 

　　控溫儀檢修：檢查控溫儀輸出信號(hào)(如4-20mA)，若異常則更換；
 

　　繼電器更換：測(cè)試?yán)^電器觸點(diǎn)電阻(正常應(yīng)<0.1Ω)，粘連時(shí)更換；
 

　　安全參數(shù)校準(zhǔn)：將安全溫度設(shè)定值調(diào)整為比工藝溫度高5-10℃。
 

　　安全提示：超溫報(bào)警是關(guān)鍵保護(hù)功能，禁止屏蔽或修改安全參數(shù)。
 

　　五、程序中斷問(wèn)題
 

　　現(xiàn)象：PRG程序運(yùn)行中突然停止，顯示“ERROR”或“HALT”。
 

　　原因：
 

　　電源波動(dòng)；
 

　　熱電偶斷路；
 

　　程序邏輯沖突。
 

　　解決方案：
 

　　電源穩(wěn)定：加裝穩(wěn)壓器(如輸出電壓波動(dòng)≤±1%)；
 

　　熱電偶檢查：用萬(wàn)用表測(cè)量熱電偶電阻(如K型熱電偶在25℃時(shí)為1.08Ω)，斷路時(shí)更換；
 

　　程序調(diào)試：簡(jiǎn)化程序步驟，避免多段溫度交叉設(shè)置(如同時(shí)升溫+通氣)。
 

　　案例：某企業(yè)因程序設(shè)置“300℃保溫時(shí)通入H?”，導(dǎo)致邏輯沖突，修改為“先通H?再升溫”后解決問(wèn)題。
 

　　雙溫區(qū)管式爐維護(hù)與故障排查通用建議

 

　　預(yù)防性維護(hù)：
 

　　每日：檢查設(shè)備外觀、電源線、氣體管路；
 

　　每周：清潔爐膛、校準(zhǔn)溫度傳感器；
 

　　每月：測(cè)試真空度、檢查加熱管電阻。
 

　　備件管理：儲(chǔ)備常用備件(如熱電偶、密封圈、加熱管)，縮短停機(jī)時(shí)間。
 

　　操作培訓(xùn)：確保操作人員熟悉設(shè)備原理及應(yīng)急處理流程(如超溫報(bào)警時(shí)立即切斷電源)。